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超真空薄膜蒸發系統
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超真空薄膜蒸發系統是一種用于物理學、電子與通信技術領域的分析儀器,于2009年3月25日啟用。
目錄
超真空薄膜蒸發系統
技術指標
Φ550×600,6.6×10^ -8。
[1]
超真空薄膜蒸發系統
主要功能
半導體材料的蒸發。
[1]
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