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超真空薄膜蒸發系統 我有新說法
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超真空薄膜蒸發系統是一種用于物理學、電子與通信技術領域的分析儀器,于2009年3月25日啟用。

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超真空薄膜蒸發系統技術指標

Φ550×600,6.6×10^ -8。[1]

超真空薄膜蒸發系統主要功能

半導體材料的蒸發。[1]
參考資料


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