一、高精度表面粗糙度測試儀器原理：
高精度表面粗糙度測試儀器由二部分組成：
1- 1.采樣部分
這是機電一體化儀器中的精密部份。它分成：
A.驅動機構_用PC 送出控制訊號操縱精密伺服馬達帶動傳感器在工件上作直線掃描。
測量長度則根據不同截止波長，由使用者根據工件及標準確定。
B.精密傳感器_本機采用差動式電感傳感器 。
C.立柱_自動升降，精密定位在傳感器測量零位上.
D.探針_在被測工件上掃描由工件表面輪廓不 平而形成上下位移，使傳感器中磁回路間隙改變導致電感變化，形成微弱訊號。
1-2.信號轉換
傳感器輸出的微弱訊號經放大、鑒相后，經過低通濾器及根據高斯濾波器特性而設計的長波段濾波網絡，輸出模擬訊號分成二路。R參數；輪廓參數分別由USB數據采樣卡內的16位A/D轉換處理，形成數字信息，經USB輸至PC運算處理，顯示打印。
二、技術參數：
主要技術指標 | 按JJF1105-2003高精度表面粗糙度測試儀器校準規范 |
測量參數 | Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2…… |
測量長度 | 25mm;50mm |
直線度測量精度 | 0.4μm |
濾波器 | 高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），2RC濾波器 |
截止波長 | 0.25，0.8，2.5 |
測量重復性 | 3% |
相對示值誤差 | ±5% |
示值穩定性 | 3% |
測量長度 | λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm） |
測量范圍 | 640μm |
分辨率 | 0.001μm |
測量速度 | 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s |
返回速度（自動） | 1mm/s |
傳感器針尖 | R=2μm鉆石（測量力1mN）；R=5μm鉆石(測量力4mN） |
三、高精度表面粗糙度測試儀器操作系統
Profile軟件必須在Windows XP平臺下工作
2-1系統功能
高精度表面粗糙度測試儀器本系統可以根據不同的傳感器分別提供兩種測量類型：
2-1-1粗糙度
可選擇三種不同截止波長及掃描長度見下表：
*截止波長(可選) | 測量速度 (根據截止波長定) | *掃描長度(可選)
| |||||
0.25mm | 0.1mm/S | 1.0 mm | 1.25mm | 1.5 mm | 1.75mm | ||
0.8 mm | 0.32mm/S | 3.2 mm | 4.0 mm | 4.8 mm | 5.6 mm | ||
2.5 mm | 0.5mm/S | 10.0mm | 12.5mm | 15.0mm | 17.5 mm | ||
測量系統可提供下列粗糙度數據：
Ra, Rz, Rmax, Rt, Rp, Rpm, Rz(jis), Rv, R3z, Rs, Rsm, Rsk, R, Rk, Rpk,Rvk,Mr1,Mr2, Rmr曲線及內燃機專用曲線。
*2-1-2、輪廓(需配輪廓傳感器)
* 測量范圍：(視不同輪廓傳感器)
0--1000μm ，0—2000μm
掃描長度：1.0mm, 1.5mm, 2.0mm, 3.0mm, 4.0mm, 5.0mm, 5.0mm, 6.0mm, 7.0mm, 8.0mm, 9.0mm, 10.0mm, 15.0mm
＊*根據用戶特殊要求，特提供圓弧面上測量粗糙度專用檔“曲面"，但其數據目前階段，除了采用平面樣板校正之外，，因無更妥當辦法驗證，只能僅供參考。
曲面粗糙度:從0.08檔至0.8mm
掃描長度從:0.5mm-4.8mm
線性范圍: 寬達0-800μm。
2-2系統運行的軟、硬件環境
系統要求系統配置：主機Pentium II或 賽楊系列（CPU主頻≥700）
128M RAM, WINDOWS XP中文版
2-3計算機軟、硬件的安裝
2-3-1.安裝Profile軟件前必須先安裝加密鎖。
高精度表面粗糙度測試儀器加密鎖安裝方法如下：首先把本機加密鎖插入USB接口中。
2-3-2.在C盤(并不限于C盤)的根目錄下建立JB6C目錄。
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