澤攸科技臺階儀JS10B
產(chǎn)品介紹
澤攸科技手動臺階儀JS10B是一款高精度測量設(shè)備，采用一體式花崗巖結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保了測量的穩(wěn)定性和可靠性。其配備彩色攝像頭，能清晰地觀察樣品和針尖，方便定位并實(shí)時監(jiān)控掃描區(qū)域。JS10B的最大掃描長度為55mm，重復(fù)性測量偏差不超過0.5nm，適用于晶圓尺寸≤150mm的樣品。此外，它還具備臺階、粗糙度、平整度和翹曲度等多種測量功能，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子等領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品組成
突破三大核心技術(shù)
產(chǎn)品特色
JS10B臺階儀部分技術(shù)指標(biāo)
名稱 | 詳細(xì)參數(shù) |
| 樣品尺寸 | ≤150mm |
| 最大掃描長度 | 55mm |
| 重復(fù)性測量偏差 | ≤0.5nm（1μm標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次） |
| 探針加力范圍 | 0.5-50mg |
| 垂直分辨率 | 0.05nm滿量程 |
| 掃描分辨率 | 10nm |
| 掃描速度 | 5μm/s-100μm/s |
| 掃描最大采集點(diǎn)數(shù) | 200萬點(diǎn) |
| 軟件功能 | 臺階、粗糙度、平整度和翹曲度測量 |
案例應(yīng)用
18nm樣品
68um樣品
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