壓電物鏡定位器 產(chǎn)品特點(diǎn)
Z 向運(yùn)動(dòng) |
大行程范圍 |
承載達(dá) 0.5kg |
可選配閉環(huán)傳感器 |
產(chǎn)品應(yīng)用
聚焦顯微 |
激光加工 |
Z 向定位與掃描 |
表面結(jié)構(gòu)分析 |
| 技術(shù)參數(shù) | |||
型號(hào) | XD730.400S-B1 | XD730.400K-B1 | 單位 |
運(yùn)動(dòng)方向 | Z | Z | |
標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 400 | 400 | μm±10% |
行程范圍（0~150V） | 500 | 500 | μm±10% |
傳感器類型 | SGS | - | |
分辨率 | 14 | 4 | nm |
閉環(huán)線性度 | 0.2 | - | %F.S. |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05 | - | %F.S. |
空載諧振頻率 | 150 | 150 | Hz±20% |
靜電容量 | 28.8 | 28.8 | μF±10% |
承載能力 | 0.5 | 0.5 | kg |
重量 | 520 | 520 | g±5% |
臺(tái)體材料 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | |
注：以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得。驅(qū)動(dòng)電壓可在-20V~150V；對(duì)于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在0~120V。
壓電物鏡定位器
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