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運(yùn)動(dòng)自由度

X、Z

X、Z

驅(qū)動(dòng)控制

2路驅(qū)動(dòng)，2路傳感

2路驅(qū)動(dòng)

標(biāo)稱行程范圍（0 ~+120 V）

X:16, Z:6

X:16, Z:6

μm±10%

Max.行程范圍（0~+150 V）

X:18, Z:8

X:18, Z:8

μm±10%

傳感器類型

SGS

-

閉/開環(huán)分辨率

X0.6 Z0.2

X0.2 Z0.1

nm

閉環(huán)線性度

X:0.3, Z:1

-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.25

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

≤15

≤15

μrad

空載諧振頻率

X2/Z1

X2/Z1

KHz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間

8

0.5

ms±20%

承載能力

0.5

0.5

kg

靜電容量

X:1.8, Z0.8

X:1.8, Z0.8

μF±20%

工作溫度范圍

-20~80

-20~80

°C

材質(zhì)

鋁

鋁

出線長(zhǎng)

1.5

1.5

m±10mm