產品簡介
小體積超精密電容測微儀是具有微米或毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器，主要用于高精度長度（深度、高度、厚度、直徑、錐度）測量、振動測量、微位移檢測等，在航天、航空、汽車、機床、光學器件加工、半導體及其它工業測控等領域廣泛應用。
詳情介紹
小體積超精密電容測微儀
高精度測微儀是具有微米或毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器，分為電感式、電容式、激光式。主要用于高精度長度（深度、高度、厚度、直徑、錐度）測量、振動測量、微位移檢測等，在航天、航空、汽車、機床、光學器件加工、半導體及其它工業測控等領域廣泛應用。
本次為大家帶來一款芯明天小體積超精密電容式傳感器。它由兩部分組成，分別為電容探頭及控制盒。電容探頭為非接觸式，尺寸為Φ10mm×18.5mm，通過電容測頭可以測量0~500μm范圍內的微小位移，測量分辨率可達1.25nm。控制盒尺寸僅有105×26×66mm^3，單通道輸出，體積設計非常小巧，易集成。整體外觀如下圖所示。1.穩定性好。電容傳感器的電容值通常與電極材料無關，這有利于選擇具有低溫系統的材料，并且由于它產生的熱量很少，因此對穩定性的影響很小。
2.結構簡單。電容式傳感器結構簡單，易于確保高精度，并且可以做得很小，可以在特殊環境下測量，如高低溫、強磁等惡劣環境。3.動態響應良好。由于極板之間的靜電引力很小，其運動部分可以做得非常小和薄，因此固有頻率很高，動態響應時間短，并且可以在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適合動態測量。4.非接觸式測量。使用非接觸式測量時，可以減小工作表面粗糙度對測量的影響。芯明天電容測微儀由兩部分組成，分別為電容測頭/電容傳感器、傳感信號處理控制模塊。
芯明天該款電容測頭（即電容傳感器）是圓柱型，采用平行極板原理，當被測物與電容測頭間的距離發生變化時，它可將這種距離變化轉換為相應的容抗變化。原理圖
傳感信號處理控制模塊是專為匹配芯明天電容傳感器而研發設計，主要功能是將電容傳感器的位移信號轉換為電信號。它具有小巧緊湊的外形，非常適用于實驗室及工業等各種場合的應用。
此外，芯明天具有模塊化的電容傳感器信號處理控制模塊 - E09.CAP系列，它的測量通道數可在1至12通道間自由選擇，同時也可根據需求定制更多的測量通道數。
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