芯明天壓電陶瓷促動器宏微復合機構P83系列壓電驅動測微頭是將標準的測微頭與可產生高分辨率位移的壓電陶瓷相結合，通過手動調節大范圍的測微頭實現13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm，再通過控制驅動電壓使壓電陶瓷相應伸長或縮短到預定位置，從而實現對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調節，壓電陶瓷行程范圍可達20μm,壓電陶瓷運動的分辨率可＜1nm，這個壓電驅動測微頭可以對元件進行大行程、高精度定位。
芯明天壓電陶瓷促動器宏微復合機構P84系列壓電驅動測微頭是將測微頭與高分辨率的壓電陶瓷結構相結合，通過手動調節測微頭實現大范圍的位移, 再通過控制驅動電壓使壓電陶瓷相應伸長或縮短到預定位置，從而實現對壓電陶瓷驅動測微頭的精調節，壓電陶瓷行程范圍可達110μm, 壓電陶瓷運動的分辨率達2.5nm，測微頭的分辨率是10μm，整體結構可以對元件進行大行程、高精度定位。
技術參數
型號 | P84.X100S P84.X100K | P83.X25S P83.X25K | 單位 |
運動自由度 | X | X |
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傳感器類型 | SGS | SGS |
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標稱行程范圍 （0 ~+120 V） | 80 | 20 | µm±20% |
zui大行程范圍 （-20 ~+150 V） | 110 | 28 | µm±20% |
測微頭行程 | 13 | 13 | mm |
分辨率 | 7，2.5 | 1.5，0.5 | nm |
測微頭分辨率 | 10 | 10 | um |
閉環線性度 | 0.15 | 0.2 | %F.S. |
重復定位精度 | 0.05 | 0.1 | %F.S. |
推/拉力 | 16，4 | 20，5 | N |
剛度 | 1 | 2 | N/mm±20% |
靜電容量 | 1.8 | 1.8 | μF±20% |
材質 | 鋼、鋁 | 鋼 |
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重量 | 0.1 | 0.1 | Kg±5% |
出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm |
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