XP-780系列大行程壓電掃描臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學掃描。平臺可以通過疊加轉接的方式 實現二維、三維運動。采用機構放大設計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動，實現X軸220μm的 位移，可以配置閉環傳感實現高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學掃描。

大行程、高精度、大負載

XP-780系列大行程壓電掃描臺采用機構放大設計原理， 可以實現zui大220μm的位移行程，無摩擦無空回的柔性導向 機構使其具有超高的分辨率，選擇配置閉環傳感器可實現納 米級的定位精度，臺體通孔使其適用于顯微掃描等應用。
優異的結構設計使其具有非常高的剛度，承載能力大， 可帶載5kg的樣品作精密定位

1~3維掃描臺

XP-780系列壓電掃描臺包括X、XY、XZ、XYZ多種規格 型號，可以自由疊加組合。

XP-780系列壓電掃描臺典型應用

• SPM掃描顯微鏡 • 干涉
• 掩模/晶圓定位 • 計量
• 生物技術 • 表面結構分析

特性

• zui大位移220μm

• zui大承載5kg

• 通孔尺寸：25×25mm

• 閉環重復定位精度高 • 開/閉環可選

XP-780系列壓電掃描臺技術參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。