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1~3維平移

產(chǎn)品外觀

直驅(qū)機(jī)構(gòu)式驅(qū)動(dòng)示意圖

XP-62X系列壓電納米定位臺(tái)可通過轉(zhuǎn)接板連接， 組成XY，XZ，XYZ多種運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)。

多種規(guī)格型號(hào)可選。

柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。

大負(fù)載、高剛度、高諧振頻率、高穩(wěn)定性

傳感器類型

頻率負(fù)載曲線

XP-62X系列壓電納米定位臺(tái)采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，優(yōu)異的柔性鉸鏈設(shè)計(jì)，具有高剛度、高頻響等特點(diǎn)，剛度可達(dá)40N/μm，空載諧振頻率高達(dá)4.2kHz，適用于需要大負(fù)載、高頻率需求的應(yīng)用，如電化學(xué)加工等。
XP-62X系列壓電平臺(tái)內(nèi)置帶有預(yù)緊力的封裝型壓電陶瓷，平臺(tái)采用有限元建模分析、柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，無磨損、免維護(hù)，提供的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品易于與其他宏動(dòng)臺(tái)產(chǎn)品集成配套，實(shí)現(xiàn)更大行程的精密定位。