P66.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺 30μm價格直驅壓電平移臺，是三維XYZ軸運動壓電定位臺，采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現納米級分辨率、定位精度具有高的可靠性，壓電平移臺在精密定位領域中發揮著重要的作用。
特性 P66.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺 30μm價格
• 位移30μm/軸 • 電阻與電容傳感器可選 • 多維運動無耦合 • 承載3.5kg
開環與閉環版本可選 | 傳感器類型 | 頻率負載曲線 | |
P66系列壓電納米定位臺可以選擇開環或閉環版本，閉環版本壓電納米定位臺內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器（SGS），配備在驅動機構的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。 傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實現滿行程0.05%的線性度與重復度。 |  |  |
應用 • 光纖端面檢測 • 光纖對接 • 硬盤測試 • 電化學加工 • 3D錫膏檢測 •干涉法/ 顯微/納米定位 •生物技術/半導體技術 •質量保證測試 •微加工/精密控制 |
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