激光干涉儀是一種用于物理學(xué)領(lǐng)域的計量儀器，具有高精度、高靈敏度的特點，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準。該儀器基于載波法測試原理Fizeau動態(tài)干涉系統(tǒng)，在同一光路中增加移相模式進行高精度計量檢測。
其主要組成部分包括激光器、分束器、反射鏡和探測器。激光器發(fā)出激光，分束器將激光分成兩束，反射鏡將其中一束激光反射回來，兩束激光在空間中疊加形成干涉現(xiàn)象。干涉條紋被探測器檢測到，通過信號處理可以得出被測量的信息。激光干涉儀具有機械移相測量和動態(tài)模式測量功能，可應(yīng)用于多個領(lǐng)域的高精密測量。
工作原理：
激光干涉儀利用了光的干涉現(xiàn)象來測量表面形貌。當激光束被分束器分成兩束相干光束時，它們在空間上存在一定的相位差。當這兩束光重新相遇時，它們會形成干涉圖樣。由于表面形貌的存在，使得一部分光發(fā)生反射或散射，導(dǎo)致干涉圖樣的強度發(fā)生變化。通過測量干涉圖樣的變化，可以推導(dǎo)出表面形貌的信息。
激光干涉儀特性：
1.交鑰匙振動不敏感動態(tài)操作；
2.突出的儀器傳輸功能；
3.快速數(shù)據(jù)采集；
4.連續(xù)可調(diào)樣品反射率補償。
應(yīng)用：
激光干涉儀在表面形貌測量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，如機械加工、光學(xué)制造、半導(dǎo)體制造和生物醫(yī)學(xué)工程等。在機械加工中，可以利用它來檢測工件的表面粗糙度和形貌，提高工件的質(zhì)量和加工精度。在光學(xué)制造中，可以利用它來檢測光學(xué)元件的表面質(zhì)量和形貌，保證光學(xué)系統(tǒng)的性能和穩(wěn)定性。在半導(dǎo)體制造中，可以利用它來監(jiān)測晶圓的表面形貌和粗糙度，控制和優(yōu)化半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。在生物醫(yī)學(xué)工程中，可以利用它來研究細胞表面的形貌和粗糙度，了解細胞生長和發(fā)育的機制和規(guī)律。
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