一、耐高溫質量流量計使用一段時間后需定期的對氣體質量流量控制器拆開進行內部的雜物整理一下，在檢查是否有受損的零件；
二、檢查氣體質量流量控制器的管道剛性是否是缺乏的狀態，如果是就建議將管道用支架固定，避免作業時出現振蕩現象；
三、不要忘記氣體質量流量控制器里外的污染整理，避免密封面的損壞；
四、注意檢測質量流量控制器的濃度測量范圍：各類質量流量控制器都有其固定的檢測范圍。只有在其測定范圍內完成測量，才能保證質量流量控制器準確地進行測定。
五、注意經常性的校準和檢測：氣體質量流量控制器也同其它的分析檢測儀器一樣，都是用相對比較的方法進行測定的。因此，隨時對氣體質量流量控制器進行校零，經常性對儀器進行校準都是保證儀器測量準確的*的工作。
綜上所述，我們在使用氣體質量流量控制器時，需要我們像對待其他儀器一樣進行精心的維護，并且在使用的過程中做好記錄，以便于一旦發生儀器故障時可以及時查找到其原因。而且我們要注意的時，一旦儀器發生了故障，那么我們盡量找到專業的氣體質量流量控制器廠家進行維修，當然也有一些服務態度好的氣體質量流量控制器廠家會定期對儀器進行檢修，減少損失。
性能參數：
量程范圍
氣體：100SCCM~3000SLM
液體：10SCCM~20SLM
蒸汽：10SCCM~500SLM
精度(調零后標準條件下)±1%F·S
重復性±1%F·S
零點漂移&滿量程漂移0.02%F·S/℃/Atm
工作范圍/量程可調比2%~F·S/50：1
大可測流量F·S
典型響應時間200毫秒(可調整)
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