俄歇電子能譜儀（在線表面分析）
簡介：
microCMA是一種緊湊型（2.75“CF安裝）柱面鏡式俄歇（AES，俄歇電子能譜）分析儀。
microCMA是30年來投入市場的*創新性的俄歇分析儀。
優異性能：
2.75英寸法蘭安裝CMA，內置3kV同軸電子槍。這兩項功能的結合使microCMA在競爭中脫穎而出。
microCMA安裝在2.75英寸法蘭上，這意味著它可以添加到大多數腔室，而無需向腔室添加另一個端口（大多數腔室有額外的2.75英寸端口可用）。
小型化還意味著，只需一個T形管和一個小型離子泵，而不是傳統的大型腔室，就可以制造出一個完整的系統。
同軸電子槍使樣品（彈性峰）易于對準，也無需電子槍（電子源、電源和法蘭）。
技術參數：
緊湊型2.75“CF法蘭安裝
同軸3kV電子槍
CeBix燈絲（運行溫度低于Lab6）
USB控制
ASCII命令
經驗證的CMA設計
應用領域：
表面分析
螺旋鉆/AES
薄膜分析
冶金學
半導體
原位
分子束外延
超高真空
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