廣范圍檢出器只要一次測量表面粗糙度、輪廓形狀，就能自動實現評價、分析到打印功能，提高作業效率。
另外，DX3系列因為作為省空間設計，能有效
利用測量室。
裝有高精度廣泛圍檢出器
測量范圍 Z軸方向 5mm范圍（分解能：80nm）～0.05mm范圍（分解能：0.8nm）
指示精度 Z軸方向±2.5+︱2H︱/100μm 檢出器的測量范圍：±2.5mm
■裝載有新型線形馬達驅動部（申請中）
能達到高水平的測量速度和低振動，實現更加穩定的高倍率測量。
而且，國為是構造簡單的非接觸式驅動，所以能長期穩定的使用
■使生產性大幅度提高的高速測量
粗糙度測量 3mm/s, 輪廓測量 20mm/s，移動速度60mm/s
測量大提高10倍（本公司相比）
項目 / 型式 | SURFCOM 2000DX3/SD3 | ||||||||||
-12 | -13 | -14 | -15 | -22 | -23 | -24 | -25 | ||||
量測範圍 | Z軸（縱方向） | 50mm/標準吊臂，10mm/2倍吊臂 | |||||||||
X軸（橫方向） | 100mm | 200mm | |||||||||
精度 | Z軸指示精度 | ±(2.5+|2H|/100)μm H:測量高度(mm) | |||||||||
測量解析度 | 0.8nm/0.5mm測量範圍,3.2nm/0.2mm測量範圍,8nm/0.5mm測量範圍, 16nm/1mm測量範圍,32nm/2mm測量範圍,80nm/5mm測量範圍 | ||||||||||
X軸指示精度 | ±（1.0+1L/100）μm (L:測量長度 mm) | ||||||||||
測量解析度 | 0.016μm | ||||||||||
真直度精度 | (0.05+1.0L/1000)μm L:量測長度(mm) | ||||||||||
感應方式 | Z軸（縱方向）:差動變壓器 X軸（橫方向）：Moire光柵尺 | ||||||||||
速度 | 立柱上下速度(Z軸) | 3~10mm/s | |||||||||
速度(X軸) | 測量速度：0.03~20mm/s,移動速度：60mm/s | ||||||||||
檢出器 | 測針、測量力 | 交換式 | |||||||||
測針半徑、材質 | 2μmR,（60°圓錐鑽石材質）0.75mN,25μmR (24°圓錐超硬)5mN 各1支標準付屬品 | ||||||||||
移動范圍 | 驅動部行程 | 100mm | 200mm | ||||||||
立柱上下動行程 | 250mm | 450mm | 650mm | 250mm | 450mm | 650mm | |||||
平臺 | 尺寸 | 600×320mm | 1000×450mm | 600×320mm | 1000×450mm | ||||||
容許載重量 | 37kg | 28kg | 93kg | 84kg | 31kg | 22kg | 87kg | 78kg | |||
其它 | 設置尺寸 | 橫 | 1250mm | 1650mm | 1250mm | 1650mm | |||||
深 | 800mm | 900mm | 800mm | 900mm | |||||||
高 | 1480mm | 1680mm | 1880mm | 1480mm | 1680mm | 1880mm | |||||
質量 | 225kg | 235kg | 420kg | 430kg | 230kg | 240kg | 425kg | 435kg | |||
電源、消耗電力 | AC100V±10％（要接地）﹑50/60Hz / 670VA | ||||||||||
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