高效空氣過濾器安裝后的檢漏測試，目的在于確認高效空氣過濾器在運輸安裝過程中未受損傷，高效空氣過濾器與其支撐框架間密封良好，送入室內的空氣均經高效空氣過濾器有效過濾，不存在泄漏情況。此項檢測對于單向流潔凈室十分必要。當然，潔凈級別越高的潔凈室對此項檢測的要求也越高。
國外認為，對于ISO 7級或更低級別的潔凈室，只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別，就可以接受。高效空氣過濾器安裝后是否存在漏點的問題可以忽略。持有這種觀點的依據是，在紊亂潔凈室中送入的潔凈空氣與室內空氣一般混合較好，從而避免了由于過濾器受損或安裝欠佳，而有些許滲漏所造成的局部污染物聚集的情況。對于那些高效空氣過濾器安裝在管道或空調箱中，而并非在末端的低級別的潔凈室，當然，更屬于只要潔凈室達標就無需檢漏所安裝的高效空氣過濾器的情況。
相比之下，在單向流系統中，特別是在潔凈工作臺或隔離裝置中，由高效空氣過濾器出風面到關鍵區氣流的流程較短，從受損或泄露部位透過來的未經高效空氣過濾器過濾的污染空氣單向流，就可能在關鍵區產生局部范圍粒子計數超標。因此，在進間或區域潔凈度測試前，單向流潔凈室有必要對安裝的高效空氣過濾器逐臺進行檢漏。
1、檢漏測試所用的氣溶膠
（1）檢漏測試氣溶膠的應用
在檢漏已安裝好的高效空氣過濾器時，是否一定要在高效空氣過濾器上風向使用人工產生的測試氣溶膠，在這個問題上，國外也有不同的觀點。有人認為如果在正常送風狀態下，使用離散粒子計數器檢漏已安裝好的高效空氣過濾器，如果根本沒有探測到較高的粒子濃度，那么，未必有必要使用人工產生的高濃度測試氣溶膠。持有不同觀點的看法是，因為已安裝好的高效空氣過濾器的檢漏工作是在潔凈室內空態或靜態條件下進行的，此時房間再循環空氣中的含塵濃度比動態時要低，而潔凈室的再循環空氣所占份額又往往很高。因此，檢漏時高效空氣過濾器上風向的含塵濃度較動態條件下可能偏低較多，在這種情況下檢漏所得結果未必可靠。
上述雙方爭執的焦點在于，已安裝好的高效空氣過濾器上風向是否具有足夠的污染濃度，為檢漏結果可靠性提供保障，至于是人工產生的測試氣溶膠還是其它塵源，往往并非主要關注點。
（2）對檢漏測試氣溶膠的要求
按照國際標準ISO 14644-3“測試與測試方法”的規定，人工所產生的氣溶膠應是多分散向的，其質量中直徑一般為0.5～0.7um。上風向測試氣溶膠濃度應在10～100mg/m3之間，并認為濃度低于20mg/m3會降低檢漏的靈敏度，而濃度高于80mg/m3時，長時間的測試可能會造成對過濾器的污染。
2、檢漏測試所用的設備
（1）氣溶膠發生器
ISO 14644-3對氣溶膠發生器的性能僅給出了一些原則性的意見：要求所用氣溶膠發生器能夠生成適當粒徑范圍的多分散氣溶膠，所產生的微粒物質濃度恒定。
（2）氣溶膠光度計
由于氣溶膠光度計的靈敏度較差，因此，為達到同等的檢漏效果，與采用離散粒子計數器相比，要求上風向氣溶膠的濃度高很多。因此，一般適用于過濾器的最易穿透粒徑的整體穿透率≥0.005%的系統，而且沉積在過濾器和管道上的產生氣溶膠的揮發性油基物質，對潔凈室內的產品或工藝應是無害的情況。
國外較常用的是線性氣溶膠光度計和對數氣溶膠光度計。這兩種光度計都是以mg/L的質量濃度顯示測量結果，用前置的散射光室進行測量。
國際標準ISO 14644-3對上述兩種氣溶膠的技術要求分別作出了以下規定：
線性氣溶膠光度計的測量技術要求：
對數氣溶膠光度計的測量技術要求：
線性和對數氣溶膠光度計的附加技術要求：
3、離散粒子計數器
對安裝好的高效空氣過濾器，國內外使用的檢漏設備是離散粒子計數器。靈敏度高，與氣溶膠光度計相比，達到同等測量精度時，上游濃度僅為氣溶膠光度計的1‰～1%即可。因此，對過濾器系統造成的污染要小。還可以檢測到最易穿透粒徑，穿透率低至0.0000005%或更低的過濾器系統。檢漏所用的儀器與潔凈室測定懸浮粒子的離散粒子計數器一致，無其它特殊技術要求。
