固態、液態和氣態是人們每時每刻所感知的三種物質狀態，這三種狀態的物質是由原子和分子構成。通過輸入能量(如熱量)，可實現物質從一種狀態轉化為另一種狀態。當氣態物質被進一步加熱到更高的溫度時，或是氣體在受到高能量的照射后，氣體物質就轉化為第四態，即等離子體態。在這種狀態下，部分氣體原子已解離成電子和離子，也有一些在吸收能量后變成具有化學活性的亞穩態原子。在這種狀態中，不但包含有一定能量的中性原子和分子，而且還有相當量的帶電粒子、一定量的帶有化學活性的亞穩態原子和分子。電離出的自由電子總的負電量與正離子總的正電量相等，這種高度電離的、宏觀上呈中性的氣體叫等離子體。
等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。
等離子清洗機在材料學，光學，電子學，醫藥學，環境學、生物學等科研領域得了廣泛的應用，主要用于材料表面清洗、活化、沉積、去膠、刻蝕、接枝聚合、疏水、親水、金屬還原、去除有機物、鍍膜前處理、器械消毒等。等離子清洗機的清洗特點是容易采用數控技術，自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證；由于是在真空中進行，不污染環境，保證清洗表面不被二次污染。
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