在電子元器件的生產過程中,無論是清洗用水,還是溶液、漿料,都需要使用超純水。集成電路的生產工藝是蝕刻和清洗反復進行,清洗是半導體制程中重要的一環,目的是為了清洗原材料及半成品上可能存在的雜質。數據顯示,每生產一片集成塊需要消耗超純水3-5升,平均一個6英寸的晶片需消耗1.2噸的超純水。半導體設備中80%為晶圓加工制造設備,清洗設備在其中占比約為8%。作為超純水的主要需求方,微電子業的迅速發展將很大推動超純水行業的增長。(數據來源:國泰君安產業觀察)
與普通生活用水不同,超純水一般用于科學研究、工業制造等高品質用水領域。超純水指將水中的導電介質幾乎去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。超純水的電阻率大于18MΩ·cm,接近18.3MΩ·cm極限值。“超純”強調了水中各類型的污染物被去除至近乎于零的含量,和常用的術語“去離子水”不同,除了常規的表征電解質含量的指標(電導率或電阻率)外,根據應用的不同還包括有機物和無機化合物、溶解和顆粒物質、細菌及溶解氣體等指標。
采用“原水來水+疊片過濾器+超濾裝置+板式換熱器+極限分離系統+UV+微米過濾器+EDI裝置+TOC+氮封純水箱”工藝,膜系統通過震動技術增大膜表面的剪切力,防止污染物在膜表面沉積,從而實現較高的流速,可以處理較高固含量的物料,實現了進一步濃縮及更高的回收率。通過極限分離系統的低能耗優勢,大大降低了RO濃水回用系統的運行成本,達到了水資源回用的目的,而且減少了廢水排放。其技術優勢如下:
1、系統運行可靠性穩定,水質穩定品質更佳。
2、運行成本低,操作及維護簡單,無需接觸酸堿。
3、占地面積小,自動化程度高。
4、無污水排放,無環境污染,使用安全及環境良好。
隨著國家對環保及微電子行業的重視,超純水的需求潛力逐漸展現出來,產業機會眾多。萊特萊德擁有多項超純水專用膜核心技術,專業量身定制水處理方案,可將水質達到18.2MΩ、溶解氧含量3~10ug/L,符合電子行業用水需求。