高精度動態配氣系統

MR系列高精度動態配氣系統是實現動態氣體配氣的設備。氣體配氣部分采用進口高精度質量流量控制器控制多路氣體輸出不同比例的流量，從而動態的實現各種氣體濃度的配置。該儀器可用于氣體分析儀的線性、準確度、重復性等多種技術指標的測試，是檢定、維護和維修氣體分析儀器的測試工具以及固定濃度氣體的發生裝置。適用于工廠、科研、實驗室等單位使用的氣體分析儀校準、測試用標準氣樣品的制備等。

1.1 功能特點

支持進行氣體混合配氣；

流量控制采用閉環模糊控制技術，響應速度快，流量控制準確；

零氣壓力和鋼瓶氣壓力可實時監測，保證供氣壓力滿足儀器要求；

大屏幕液晶、中文顯示，操作簡單方便；

多路標氣輸入接口，免除更換多種鋼瓶氣的繁瑣工作；

1.2 主要參數

流量準確度：±1%F.S；

流量線性度：±0.5%F.S；

流量重復精度：±0.2%F.S；

稀釋氣體流量范圍：0～5SLM；0～20SCCM； 0～100SCCM 可選

稀釋比：200：1；

配比：1000:1；

輸入壓力：100kPa～500kPa；

使用環境溫度：5℃～45℃，相對濕度：<80%RH；

設備耐壓：<1Mpa；

工作壓差范圍：0.05MPa～0.3MPa；

工作電源：AC220，50±0.5Hz。

使用氣體：

、光氣等原料氣體濃度應小于1000ppm.

一、 發生裝置組成

MR-DF2由氣體配量裝置，嵌入式WINCE系統以及其他輔助件組成（見附件一）。

2.1 氣體配量裝置

MR-DF2負責氣體配量功能。它主要由：質量流量計，電磁兩通閥，電磁三通閥、混氣室、排空閥等部件組成。