新品介紹|XD107系列壓電掃描臺 - 三維納米運動
2025年04月27日 08:11:16
來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 >> 進入該公司展臺
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XD107系列壓電掃描臺是一款定制設計的三維運動的壓電平臺，具有特殊的負載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用。
XD107系列壓電掃描臺內部采用機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷、無摩擦柔性鉸鏈導向機構，可實現XY向100μm/軸、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和穩定性都可達nm級，定位響應時間也可達ms級。該壓電掃描臺可根據應用需求選配閉環傳感器，以獲取更高的精度。XD107系列壓電掃描臺的連接器共有2組，每組有3個，一組用于電壓驅動信號的傳輸，一組用于傳感反饋信號的傳輸。連接器的配置主要取決于所選配的壓電控制器的連接器類型。XD107系列的連接器是為了匹配芯明天E00/E01系列壓電控制器（下方右圖），若更換其他壓電控制器，可更換為其他相應的連接器類型。
電壓位移曲線：下圖中為XD107系列壓電掃描臺的XY向的驅動電壓與位移曲線。
技術參數
標稱行程范圍(0~120V)：XY80/Z64μm
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