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聚焦智能控制、測量與信號處理 IEEE-ICMSP 2022在杭州開幕
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2025年04月29日 08:20:57 來源:哈爾濱芯明天科技有限公司 >> 進入該公司展臺 閱讀量:3
P77.D4 壓電式移相器為大口徑移相器,中心通孔孔徑分別為160mm,特殊的結構設計,與光學平面檢測儀相匹配。
特點
· 一維 Z 向運動
· 分辨率可達0.5nm
· 通孔尺寸為Ø160mm
· 行程范圍20μm
· 大承載10kg
承載能力
P77.D4 的承載能力高達10kg。
多點位移測量
出廠前,對多個點進行位移測量,保證運動的直線度。
步進曲線
開環曲線
技術參數
以上參數是采用E00/E01系列壓電控制器測得
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