P92.X40快速刀具定位臺內部采用高壓壓電陶瓷驅動，驅動電壓為0~1000V，出力可達3000N。該快速刀具定位臺可產生一維X向的微進給運動，進給范圍可達40μm，且集成閉環傳感器，可保證操作時控制電壓與位移間的線性關系。另外，它的機械結構設計堅固，且配有散熱接口。
特點：
● 行程達40μm ● 驅動電壓0~1000V ● 出力達3000N ● 閉環分辨率達10nm ● 散熱孔
技術參數：
型號：P92.X40
標稱行程范圍（0-800V）：32μm
行程范圍（0-1000V）：40μm
傳感器類型：SGS
落后相位（1μm/1Khz ）：＜20°
落后相位（5μm/500hz ）：＜10°
推力：3000N
運動方向剛度：100N/μm
空載諧振頻率：3975Hz
閉環線性度：<0.1%F.S
閉環重復定位精度：<0.1%F.S
閉環分辨率：10nm
靜電容量：540nF
材質：鋼
開環位移曲線
注：上圖中，實際施加到快刀定位臺的電壓值為輸入電壓的100倍。
閉環精度曲線
閉環分辨率
1
增益曲線
1
相位曲線
1
溫升曲線
工作條件 | 溫升 |
1KHz、1μm | 0.32℃ |
500Hz、5μm | 11.56℃ |
20W(P=U^2fC) | 45.85℃ |
1）1kHz、1μm工作條件下溫升曲線
2）500Hz、5μm工作條件下溫升曲線
3）200Hz、400V工作條件下溫升曲線
