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壓電物鏡位移臺(tái)是專為驅(qū)動(dòng)物鏡頭進(jìn)行納米級(jí)快速步進(jìn)、掃描而設(shè)計(jì)的，它與壓電納米定位臺(tái)、壓電平臺(tái)具有相同的原理，與之不同之處是具有專門(mén)針對(duì)物鏡頭的特殊螺紋適配接口，非常便于物鏡頭的連接與固定。

從上圖中可看出，在外觀上，壓電平臺(tái)與壓電物鏡位移臺(tái)顯著不同。

以芯明天P76壓電物鏡位移臺(tái)為例，它的外形類似中空的圓柱形，結(jié)構(gòu)內(nèi)部采用對(duì)稱式的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在內(nèi)側(cè)中空位置固定物鏡頭，且物鏡螺紋適配器可根據(jù)客戶要求選擇或定制。

芯明天P76壓電物鏡位移臺(tái)

P76壓電物鏡位移臺(tái)的行程為100μm（1μm是一百萬(wàn)分之一米），它的分辨率可高達(dá)2.5nm（1nm為十億分之一米）；它的承載能力為500g，并且它的掃描階躍時(shí)間可達(dá)2ms。配備閉環(huán)傳感器后，它的重復(fù)定位精度可達(dá)滿行程的0.02%。

閉環(huán)版本詳細(xì)參數(shù)如下。

型號(hào)：P76.Z100S

運(yùn)動(dòng)自由度：Z

行程范圍（0~120V）：80μm

行程范圍（0~150V）：100μm

傳感器類型：SGS

線性度：0.05%F.S.

重復(fù)定位精度：0.02%F.S.

推/拉力：70/10N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：0.8N/μm

空載諧振頻率：800Hz

空載階躍時(shí)間：5ms

10%行程空載工作頻率：400Hz

靜電容量：7.2μF

重量：520g

通過(guò)激光準(zhǔn)直儀測(cè)量P76壓電物鏡位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)的直線性。

應(yīng)用舉例

P76壓電物鏡位移臺(tái)應(yīng)用于顯微掃描成像，以測(cè)量納米結(jié)構(gòu)。

下圖應(yīng)用中采用的是倒置使用壓電物鏡位移臺(tái)，顯微鏡與物鏡位移臺(tái)位于樣品的下方。該系統(tǒng)采用籠式結(jié)構(gòu)組成，利用光學(xué)測(cè)量原理，通過(guò)P76位移臺(tái)的納米級(jí)高精度快速步進(jìn)掃描，可對(duì)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度的測(cè)量，該測(cè)量非常適于生物、醫(yī)療等應(yīng)用，同時(shí)它也是納米加工中的步驟。