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壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)精密運(yùn)動的壓電平臺。具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級分辨率及定位精度。壓電納米定位臺在各精密運(yùn)動及定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

P66系列壓電納米定位臺

P66系列是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，行程可達(dá)60μm，分辨率可達(dá)0.7nm。非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、光纖端面檢測等，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

P63系列壓電納米定位臺

P63系列內(nèi)部采用直驅(qū)機(jī)構(gòu)，體積小巧且定位精度高，是為AFM、SPM、STM 等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

P11系列壓電納米定位臺

P11系列采用機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)100μm位移。控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級，壓電定位臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。

應(yīng)用領(lǐng)域

光纖端面檢測

光纖連接處出現(xiàn)問題是網(wǎng)絡(luò)故障的主要原因，因此光纖端面的檢測至關(guān)重要。壓電納米定位臺帶動鏡片做精密運(yùn)動，配合顯微鏡完成對光纖端面質(zhì)量的干涉檢測。

納米切削

壓電納米定位系統(tǒng)控制刀具緩慢向待加工件表面移動，直至接觸，并記錄位置，再次移動刀具至加工點(diǎn)，預(yù)切削后，再通過壓電納米定位系統(tǒng)控制刀具進(jìn)行納米級車削。

3D錫膏檢測

錫膏測厚儀是一種利用光柵投影技術(shù)，將印刷在PCB板上的錫膏厚度、面積、體積等分布測量出來的設(shè)備。為了收集和高度有關(guān)的信息，在拍攝的圖像上采用二維壓電納米定位臺帶動光柵移動4次，移動一次拍攝一組圖像，最終合成一組圖像顯示出測試結(jié)果.