特點
一維θx軸偏擺
承載高達60kg
偏擺角度0.5mrad@150V
±0.01mrad下使用頻率達210Hz
典型應用
光束掃描
大負載偏擺運動
干涉/計量
空間擾動模擬系統、
閉環電壓與位移曲線
注：施加至壓電陶瓷的電壓為驅動控制電壓的12倍。
20ms階躍曲線
使用頻率與振幅曲線(20kg負載下)
技術參數
型號：N50.U0C
運動自由度：θx
標稱偏擺角：0.4mrad(≈80秒)@120V
偏擺角：0.5mrad(≈100 秒)@150V
傳感器類型：CAP
閉/開環分辨率：0.02/0.01μrad(＜0.01秒)
閉環線性度：0.3%F.S.
閉環重復定位精度：0.3%F.S.
空載諧振頻率：750Hz
閉/開環空載階躍時間：30/15ms
承載能力：60kg
靜電容量：30μF
材質：鋁、鋼
