什么是壓電納米定位臺？
壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運動的壓電平臺。運動范圍可達375μm，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現納米級分辨率及定位精度且具有的可靠性，壓電納米定位臺在精密定位領域中發揮著至關重要的作用。
壓電納米定位臺性能
· 超高分辨率
壓電納米定位臺采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，可實現亞納米級分辨率。芯明天N60.X系列壓電納米定位臺，配套E53系列壓電控制，可實現0.5nm的步進分辨率。
· 大出力
芯明天快速刀具定位臺采用大出力壓電陶瓷，出力可達幾千牛頓，廣泛應用于精密加工等領域。
· 快速響應
壓電納米定位臺由容性壓電陶瓷驅動，響應時間可快至毫秒級。芯明天N65系列納米定位臺配套大功率E00/E01系列壓電控制器，可實現滿幅值階躍時間為1.5ms。
· 無磨損
平臺采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。
· 電壓驅動
芯明天壓電納米定位產品標準驅動電壓為0~120/150V，可產生375μm位移行程。同時可以根據要求定制其他電壓驅動版本。
驅動控制系統
芯明天壓電陶瓷控制器通過模擬輸入或數字輸入控制，具有功率放大功能，且輸出電壓、輸出頻率可調。多種通道數及功能可選，可驅動各種壓電類產品，同時也可根據應用需求提供定制服務。
應用到那些領域
· 光纖端面檢測
壓電納米定位臺帶動鏡片做精密運動，配合顯微鏡完成對光纖端面質量的干涉檢測實驗。
· 精密車削
利用快速刀具定位器超精密制造技術，實現光學非球面、自由曲面、微結構與其陣列的元件及模具納米級超精密加工。
· 原子力顯微鏡
閉環納米定位臺與原子力顯微鏡相結合，可以實現375μm的掃描范圍，分辨率為亞納米級，響應時間可達亞毫秒。
· 激光平面干涉儀
Z向壓電納米定位臺的作用是做納米級的微運動，精確調整待測物的位置，從而改變對應條紋的寬度及位置，以達到精確的表面測量。
