要素：精，直線導軌的運動靈敏度和定位精度。線性馬達運動靈敏度是指運動構件能實現的最小行程;定位精度是指運動構件能按要求停止在指定位置的能力。運動靈敏度和定位精度與導軌類型、摩擦特性、運動速度、傳動剛度、運動構件質量等因素有關。
第二要素：剛，模組和支承件的熱變形，選購線性模組時要考慮到模組和支承件的熱變形，微型電鋼數值越小越好。導向精度是指運動構件沿導軌導面運動時其運動軌跡的準確水平。影響導向精度的主要因素有導軌承導面的幾何精度、導軌的結構類型、導軌副的接觸精度、外表粗糙度、導軌和支承件的剛度、導軌副的油膜厚度及油膜剛度。直線運動導軌的幾何精度一般包括：垂直平面和水平平面內的直線度;兩條導軌面間的平行度。單軸手臂導軌幾何精度可以用導軌全長上的誤差或單位長度上的誤差表示。
第三要素：穩，平穩性與穩定性，穩定性是指在給定的運轉條件下不出現自激振動的性能。平穩性是指導軌在低速運動或微量移動時不出現爬行現象的性能。平穩性與導軌的結構、導軌副材料的匹配、潤滑狀況、潤滑劑性質及導軌運動之傳動系統的剛度等因素有關。 精度堅持性是指工作過程中保持原有幾何精度的能力。直交機械手模組的精度堅持性主要取決于導軌的耐磨性極其尺寸穩定性。耐磨性與導軌副的資料匹配、受力、加工精度、潤滑方式和防護裝置的性能的因素有關。導軌及其支承件內的剩余應力也會影響導軌的精度堅持性。
