潔凈度檢測是潔凈車間性能測試的核心，氣流測試、壓力測試等都只能在確認潔凈車間的潔凈度不受影響后才能正常進行。
一、潔凈車間潔凈度的檢測儀器
潔凈車間潔凈度檢測使用塵埃粒子計數器，可以選用凈化工程光散射粒子計數器、凝結核粒子計數器、電子顯微鏡和光學顯微鏡，但目前用得較多的是光散射粒子計數器。由于此種粒子計數器在運用中可以對室內空氣的含塵量進行自動、連續、及時地對應測量，并且可以直接顯現瞬時的含塵濃度，也可以對不一樣粒徑的含塵濃度進行測量，運用簡略、便利、及時、靈活。塵埃粒子計數器有不同的規格，在國標GBJ73-84中規定：對于100級的凈化車間，每次取樣量應大于或等于1L，對于1000~10000級的凈化車間，每次取樣量應大于或等于0.3L，對于10000級的凈化車間，每次取樣量應大于或等于0.1L。對于100級凈化車間，宜選用大流量粒子計數器進行測驗
二、潔凈車間潔凈度的檢測步驟
1. 確定系統的測試調整與平衡已完成，并已修復破損部分。
2. 確認測試位置與測試點數。
3. 取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而變化，若是取樣時間小于1分鐘，則應以1分鐘為準。
4. 測試位置應均勻分布在潔凈車間內，避免在產生大量粒子的附近，而且儀器應用架臺支撐，不可以用手支撐。
5. 測量出的點數用公式計量。
三、潔凈車間潔凈度的驗收標準
潔凈度的驗收標準分兩點：
1.每點的微粒測量平均值應低于規定值；
2.任一隔間若需使用分析，則該分析值也應小于規定值。
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