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EBARA荏原ESP-7型壓力傳感器

■  特點(diǎn)

●由于使用了擴(kuò)散型半導(dǎo)體傳感器，因此具有的可靠性和耐用性。

●受壓部使用SUS316L不銹鋼。

●即使在50kPa或更低的低壓下也具有的穩(wěn)定性。

●除空氣，水，油等外，它還可用于多種測(cè)量。

●我們主要生產(chǎn)ESP-7型傳感器，并生產(chǎn)多種應(yīng)用產(chǎn)品，例如隔膜型和衛(wèi)生型，適合食品，化學(xué)藥品和制藥等各種應(yīng)用。

壓力傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)

工作原理

■工作原理

流體壓力首先由不銹鋼隔膜1接收。

壓力通過(guò)封閉在內(nèi)部的硅油（2）傳輸?shù)?/span>擴(kuò)散型半導(dǎo)體傳感器，而不會(huì)造成壓力損失。

在擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力傳感器中，將硅基板⑥接合至玻璃臺(tái)架⑨，并且將其部蝕刻成薄的隔膜形狀。

傳遞的壓力使隔膜變形，并改變上部形成的壓電電阻計(jì)⑦。

壓電電阻計(jì)由小電流驅(qū)動(dòng)，并通過(guò)焊線⑤輸出與壓力成比例的電信號(hào)。

電信號(hào)由內(nèi)部電路板的放大電路部分放大，并作為由調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)的信號(hào)輸出，作為4至20 mA的電流輸出或1至5V的電壓輸出。

由于擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力傳感器會(huì)因溫度變化而導(dǎo)致輸出變化較大，因此我們的壓力傳感器會(huì)根據(jù)其各自的特性進(jìn)行溫度補(bǔ)償。 

傳感器內(nèi)部結(jié)構(gòu)

壓力單位對(duì)照表

SI單位/舊單位指南/壓力類型