OBISHI大菱超精密石材直線參考裝置EF-1001
OBISHI大菱超精密石材直線參考裝置EF-1001
超精密石材直線參考裝置
可以用作各種機床，半導體相關設備，檢查設備等各軸直線度檢查的母版。
組裝和調整每個軸時，可以將其用作直線參考。
可以用作機器零件的檢查主機。
所使用的表面為精密包裝表面。
只有一個精度面。
精密表面是指距兩端不包括20 mm的尺寸。
由石頭制成，不易受溫度變化的影響。
| 代碼編號 | 呼叫 | 尺寸（長x高x寬mm） | 直線度（μm） | 質量（公斤） |
|---|---|---|---|---|
| EF-1001 | 500 | 540 x 100 x 50 | 1.0 | 9.3 |
| EF-1002 | 750 | 790 x 100 x 50 | 1.0 | 13.5 |
| EF-1003 | 1000 | 1040 x 125 x 60 | 1.0 | 27.0 |
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