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產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 通過(guò)用傳感器測(cè)量基板的應(yīng)變，可以實(shí)時(shí)測(cè)量鍍層的內(nèi)應(yīng)力。可以通過(guò)一次測(cè)量來(lái)測(cè)量每個(gè)電鍍時(shí)間的應(yīng)力（膜厚）。另外，還可以測(cè)量已鍍過(guò)一次的膜再鍍時(shí)的應(yīng)力。可以測(cè)量傳統(tǒng)應(yīng)力計(jì)無(wú)法檢測(cè)到的微小應(yīng)力。精密電鍍電源YPP系列的插槽中插入了專用的應(yīng)力計(jì)板。特征● 符合JIS H8626標(biāo)準(zhǔn)。● 即使是微弱的應(yīng)力也可以測(cè)量。適用于測(cè)量薄膜、晶圓等弱產(chǎn)品。（從0.5μm以上的膜厚可以進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量）● 也可以測(cè)量其他方法無(wú)法測(cè)量的初始應(yīng)力。● 適用于微小零件。● 傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入連接電源的PC，PC上自動(dòng)計(jì)算應(yīng)力值，無(wú)需計(jì)算。此外，使用個(gè)人計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)顯示和存儲(chǔ)測(cè)量期間的數(shù)據(jù)。