ROC紫外線照度計VORCUV-M03A產品介紹
它是一種小巧輕便的便攜式設備,可以輕松管理曝光設備的照度和光強度。
可以容易地測量UV照度和光強度。對于光接收器,根據光源和使用的抗蝕劑(計劃使用)的靈敏度,為UV-25,35,42選擇一個。然而,UV-SN25,UV-SN35,UV-SN42用于電子電路(印刷)基板的生產過程,UV-SD25,UV用于半導體和液晶基板的生產過程 - 建議選擇SD35和UV-SD42
測量數據可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。關于SD類型和SN類型型已被長期使用我們的曝光和照射設備等的客戶廣泛采用,以確程管理的連續性。SD型是已經使用其他公司的發光計的客戶重視確保與半導體和液晶基板制造工藝領域的這些測量儀器的數據兼容性(我公司生產的曝光設備)但是,投影型曝光系統和液晶基板的周邊曝光系統采用SD型,建議使用新型照度計等的客戶使用。
關于SD類型和SN類型的指示值:為了確保舊過程數據的兼容性,SN類型表示SD類型的指示值(我們的測量組用作校準輻射源的高壓UV燈的發射線在相同的測量條件下測量 調整顯示比顯示時顯示的照度值高39%:mW / cm 2顯示。
關于與第三方測光表的數據兼容性:與可見光發光計(測量LUX單元中家庭,辦公室,商店,博物館等的亮度的照度計)不同,適用于所有紫外線發光計的標準尚未準備好(似乎在JIS上的工作是在非常有限的應用中進行的)。的公司的相對光譜靈敏度,對于由光源主要由365nm的發射線,開始與測量的峰值波長處測量的照度的目的進行(波長相對光譜靈敏度特性是由1表示),短波長側(約300nm至310nm)和長波長側(約380nm至400nm)的上升,下降波長和其前后的曲線略有不同。另外,盡管接收器的光接收角特性(稱為COSθ特性)也在設計上努力使其更接近理想曲線,但實際上還沒有實現。
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