P36芯明天壓電移相器
壓電移相器壓電偏轉(zhuǎn)鏡系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器為θx,θy偏轉(zhuǎn)/俯仰及Z軸升降臺，臺體中心通孔，產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，可以實現(xiàn)的偏轉(zhuǎn)范圍為0.8mrad， Z軸直線運動行程為12μm，產(chǎn)品為開環(huán)版本，具有的分辨率及響應(yīng)速度，是干涉掃描移相的。
P36芯明天壓電移相器特性
• θx,θy二維偏轉(zhuǎn)及Z向升降運動，zui大偏轉(zhuǎn)角度0.8mrad，zui大直線位移8μm
• 分辨率高 • 溫度穩(wěn)定性高 • 亞毫秒響應(yīng)時間
開環(huán)、高動態(tài)性、中心通孔 | 頻率負(fù)載曲線 | 驅(qū)動控制 |
P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器為多軸俯仰升降臺，產(chǎn)品體積為Ø20×19.5mm，可以實現(xiàn)θx, θy軸0.8mrad的偏轉(zhuǎn)，Z軸12μm的升降，開環(huán)版本具有超高的分辨率及超快的響應(yīng)速度，三角架結(jié)構(gòu)設(shè)計具有超寬的使用溫度范圍。 臺體中心帶有通孔孔徑為Ø10mm，適用于需要透光的應(yīng)用，如光過濾等。 P36系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器有兩個版本可選，開環(huán)Z向平臺或開環(huán)Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)臺，Z向升降平臺提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運動），Z向升降/俯仰/偏轉(zhuǎn)定位臺可實現(xiàn)垂直（活塞運動）定位及俯仰/偏轉(zhuǎn)定位。 |
| P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器內(nèi)部三支壓電陶瓷促動器并聯(lián)連接，提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運動）時，只需一個驅(qū)動通道。 提供Z向升降/俯仰/偏轉(zhuǎn)運動時，需三個驅(qū)動通道。
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壓電移相器壓電偏轉(zhuǎn)鏡
運動方式 | 可配套鏡片轉(zhuǎn)接座 | |
| P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器可選擇配套鏡片轉(zhuǎn)接座方便鏡片的安裝與固定。
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應(yīng)用 • 圖像處理/穩(wěn)定 • 干涉法 • 激光掃描/光束偏轉(zhuǎn) • 激光調(diào)諧 • 光過濾/開關(guān) • 光束穩(wěn)定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動 • 光束偏擺/穩(wěn)定 • 光學(xué)、激光掃描、通信 • 光學(xué)濾波器/開關(guān) • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應(yīng)光學(xué)、穩(wěn)像 • 干涉
產(chǎn)品測試 |
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型號 | 尾綴K-開環(huán) | P36.Z1K | P36.ZT1K | 單位 |
運動自由度 | Z | θx,θy,Z |
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運動和定位 | ||||
θx, θy標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度（0~+120V） | - | 0.55 | mrad±20% | |
Z向直線標(biāo)稱行程（0~+120V） | 8 | 8 | µm±20% | |
θx, θyzui大偏轉(zhuǎn)角度（-20~+150V） | - | 0.8 | mrad±20% | |
Z向直線zui大行程（-20~+150V） | 12 | 12 | µm±20% | |
θx,θy偏轉(zhuǎn)分辨率 | - | 0.02 | µrad | |
Z向直線分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm | |
機(jī)械性能 | ||||
空載諧振頻率 | 7.5 | θx3.2/θy3.5/Z7.5 | kHz±20% | |
空載階躍時間 | 0.5 | 0.5 | ms±20% | |
空載工作頻率* | 10%行程 | 2000 | 1500 | Hz±20% |
99%行程 | 200 | 150 | ||
驅(qū)動性能 | ||||
靜電容量 | 0.5 | 0.5 | μF/軸±20% | |
其他 | ||||
工作溫度范圍** | -20~80 | -20~80 | °C | |
材質(zhì) | 鋼 | 鋼 |
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外形尺寸（外徑-內(nèi)徑/高） | 20-10/19.5 | 20-10/19.5 | mm | |
重量 | 50 | 80 | g±5% | |
出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
電壓連接器*** | LEMO | LEMO |
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