1.芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺
特性
• θx, θz偏擺/旋轉，角度位移達±0.3mrad/軸 • zui大承載達60kg • 閉環定位精度高 • 外形堅固 • 響應速度快
2.芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺
外觀形狀 | 產品運動示意圖 | 閉環曲線 |
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大承載、高精度、高頻率 | 頻率負載曲線 | 驅動測試實驗 | |
N50 θx, θz二維偏擺/旋轉臺是專門為空間擾動實驗而設計的大承載偏擺系統，具有電容閉環幅值校正功能，可以帶60kg負載做精密偏轉，zui大行程為±0.3mrad。 N50壓電偏轉臺采用有限元分析對結構進行優化，具有非常高的剛度，即使其在負載的情況下仍然可以實 現高動態，zui大頻率可以達到500Hz。 可選擇多種傳感器類型，如電容、電感、應變計等。該產品已經成功應用于模擬空間擾動等實驗中。 |
| N50大負載θx, θz二維偏擺/旋轉臺需要三通道控制器進行驅動控 制，根據所需使用頻率配套不同功率的壓電控制器。如100~200Hz 使用頻率，我們推薦配套E00/E01系列控制器選擇E05驅動模塊。
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3.二維θx, θz向壓電偏擺臺
應用
• 光束掃描 • 圖像處理/穩定 • 光學、激光掃描、通信、光線偏轉、干涉/計量 • 空間擾動模擬系統 • 光路調整 • 掩模與晶片位置調整 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術 • 表面結構分析
可定制
N50壓電偏擺/旋轉臺參數可接受定制。
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