P84.X一維X軸壓電宏微復合臺：
宏微復合機構是通過宏動調節測微頭與壓電微動調節機構完成大范圍精密定位需求。
通過測微頭與壓電微調機構相結合的方式實現宏微復合機構，宏微復合機構可以與宏動平臺配合使用，組成大行程高精度壓電平移臺
P84.X一維X軸壓電宏微復合臺技術參數
型號 | P84.X100S | P84.X100K | 單位 | |
運動自由度 | X | X |
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行程范圍 | 13mm+110µm | 13mm+110µm | 粗調+精調 | |
平直度 | <3 | <3 | µm/13mm | |
重量 | 400 | 400 | g±5% | |
殼體材料 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 |
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外形尺寸（長×寬×高） | 140×90×23 | 140×90×23 | mm×mm×mm | |
手動調節部分-千分尺 | ||||
粗調行程范圍 | 13 | 13 | mm | |
粗調分辨率（千分尺） | 10 | 10 | µm | |
導軌 | 交叉滾柱導軌 | 交叉滾柱導軌 |
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驅動方式 | 螺紋副（分厘卡） | 螺紋副（分厘卡） |
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千分尺靈敏度 | <2 | <2 | µm | |
臺面尺寸 | 65×65 | 65×65 | mm×mm | |
千分尺讀數 | 10 | 10 | （微米/格） | |
千分尺螺距 | 0.5 | 0.5 | mm/rev. | |
壓電驅動精調部分-壓電驅動 | ||||
精調行程范圍 | 0~120 V，Nominal | 80 | 80 | µm±20% |
-20~150 V，Max | 110 | 110 | µm±20% | |
傳感器類型 | SGS | - |
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步進/分辨率 | 7 | 2.5 | nm, typ. | |
閉環線性度(壓電驅動) | 0.1 | - | %F.S. | |
重復定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
運動方向推力 | 16 | 16 | N | |
剛度 | 1 | 1 | N/µm±20% | |
承載能力（Z向）* | 500 | 500 | g | |
工作溫度范圍** | -20~80 | -20~80 | °C | |
靜電容量 | 1.8 | 1.8 | µF±20% | |
出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | |
傳感/電壓連接器 | LEMO | LEMO |
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注：壓電驅動的標稱行程是在 0~120V 的驅動電壓下的位移行程，驅動電壓可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在
0~120V。
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