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芯明天放大機構式壓電納米定位臺特性

2~3維運動

位移行程40μm

體積小巧

亞毫秒響應時間

二、三維平移臺

P13壓電納米定位臺，包括二維XY軸、三維XYZ軸兩個規格型號。

芯明天放大機構式壓電納米定位臺閉環階躍穩定時間圖

P13.XY閉環版本40μm行程的穩定時間約為30ms。

超小體積、無機械間隙、高分辨率

固態鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動無機械間隙，該結構原理使其具有非常高的分辨率，運動直
線性好。
P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳
感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動態使用，是掃描應用的理想選擇。

P13 系列壓電納米定位臺為二維 XY、三維 XYZ 壓電平臺，臺體采用平行運動學機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，位移為 37.5μm/ 軸。開環閉環版本可供選擇。產品主要應用于光學顯微、生物科技等領域。

超小體積、無機械間隙、高分辨率

固態鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動無機械間隙，該結構原理使其具有非常高的分辨率，運動直線性好。
P13 系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。
P13 壓電平移臺適用于動態使用，是掃描應用的理想選擇。