XY/XYZ72 壓電宏微復合平臺
XY/XYZ72 壓電宏微復合平臺 二維或三維運動 、XY宏動行程±5 mm、Z微調行程8@150V μm
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XY/XYZ72 壓電宏微復合平臺 二維或三維運動 、XY宏動行程5 mm、Z微調行程8@150V μm
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