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超純水是將水中的導(dǎo)電介質(zhì)去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物去除至低程度的水。

超純水是其他工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟，過濾、離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法。

應(yīng)用范圍：單/多晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝、引線柜架、集成電路、 液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、電池、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器、潔凈產(chǎn)品及各種元器件等 。