預處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)
優缺點比較：
采用反滲透作預處理再配上EDI裝置，這是目前制取超純水*經濟，環保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進行zs便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴
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常用工藝流程：預處理-反滲透-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(15M.CM)(新工藝)優缺點比較：采用反滲透作預處理再配上EDI裝置，這是目前制取超純水*經濟，環保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進行zs便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性
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