等離子廢氣凈化器內部裝有碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的氣體被電場內所產生的臭氧所，并去除了異味，氣體被除掉，達到廢氣處理的目的。
低溫等離子凈化器反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1)電場+電子→能力好電子
(2)能力好電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4)活性基團+活性基團→生成物+熱
低溫等離子凈化器是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
低溫等離子凈化器原理：
低溫等離子體降解污染物是利用這些能力好電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業廢氣處理的一種原理。
低溫等離子凈化器適用范圍廣泛，可用于石油化工、制藥行業、飼料和肥料加工廠，畜牧產品農場、化纖廠、皮革廠、紙漿廠、污水泵站、各類污水處理廠、涂料、視頻添加劑廠、皮革加工、感光材料、汽車制造以及公廁、糞便站等諸多行業存在的有用廢氣，異味，惡臭等污染問題。即可應用于工業廢氣的治理，也可應用于室內空氣凈化等，是一種用途為廣泛的新型空氣環境潔凈設備。
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