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燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置

一．主要特點

1. 獨立燃燒方式，燃燒之火焰渦流：可燃性毒性氣體從低濃度至99%濃度均可用高溫處理；

2. SiH4與NF3、NO2同時燃燒：SiH4與NF3、NO2可以同時于燃燒室中一起 燃燒；

3. 基本功能之安全設計：異常情況發生時，診斷機能會自動安全處理；

4. 使用刮刀方式，粉塵處理容易：燃燒室內部之附著粉塵，可使用獨立之刮刀容易且確實地清除；

5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各種型式：燃料氣體可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 種型式；

6. 保養簡單：保養可在極短的時間內完成，費用也低廉；

7. 高信賴性：構造簡單且零件數少，值得高度信賴。

二．燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類

可處理氣體種類包括半導體、液晶以及太陽能等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

三．燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理原理

1. 冷卻空氣之一部份在燃燒室內形成火焰渦流，制程氣體會卷入燃燒；

2. Guardian之火焰渦流可將SiH4等氣體，破壞其氣泡產生；

3. 冷卻空氣在機臺內部循環，燃燒室外部使用空氣冷卻。并可使排氣溫度冷卻下降，而且可將燃燒后之氧化物排出等多樣功能；

4. 熱電對之安全裝置，可監視燃燒室溫度、排氣溫度、Process Gas導入管溫度。另外Photo sensor可監視熄火，差壓計可檢視排氣風量。