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1. 激光干涉儀簡介

激光干涉儀是一種以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉原理測量位移的通用長度測量儀器。以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今的高精度、高靈敏度的測量

儀器，在制造領域應用廣泛。

1. 激光干涉儀簡介

激光干涉儀是一種以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉原理測量位移的通用長度測量儀器。以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今的高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛。雙頻激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

2.激光干涉儀組成

系統組件主要包括：激光頭、可調云臺、三腳架、光學鏡組件、環境傳感器探測器外置式激光頭還需：數據采集卡、光纖、光電接收器系統采用模塊化結構；可根據具體測量需求而選擇不同的模塊組件。

二、CL50 雙頻激光干涉儀產品配置參數

1.系統綜述

CL50 雙頻激光干涉儀采用自主知識產權的大頻差雙頻激光器等光平熱穩頻技術、多參數環境補償技術、高速數字信號處理系統等技術，使得激光波長非常穩定， 激光穩頻精度優于±0.03ppm ， 線性測長精度優于±0.4ppm、技術指標達到或優于國外產品同等水平。

CL50 雙頻激光干涉儀是用來測量位移距離的光學儀器，測量距離為40m（使用其他元件可擴展至80m），分辨率為1nm，速度為2m/s。它還可以測量由位移引申出來的幾何量和運動量，如角度、直線度、平行度、

垂直度以及速度、加速度等。CL50 干涉儀采用模塊化設計，主要用于機床的精度標定和誤差檢測以及實驗研究等各種用途。由于采用模塊化設計，用戶可以根據不同的測量目標，選擇對應的光學鏡組來滿足測量需求。

2.產品特點

1）雙頻激光干涉儀克服了單頻激光干涉儀易受環境影響的弱點，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。

2）頻差高達6MHz±1MHz（典型值，可定制更高頻差）可根據客戶需要提供系統解決方案。

3）抗干擾性好，精度更高，性能可靠，長距離測量仍可保持穩定；

4) 自動環境補償，保證測量高精度；電磁干擾不敏感，適合車間惡劣工業環境下的精密測量；

5）小體積便攜式設計， 人性化操作結構，軟件操作界面友好，方便易用；擁有自主知識產權， 核心部件自主生產， 售后保障及時、可靠，

6）雙模穩頻與雙頻干涉測量是不同技術的產品、雙頻干涉儀采用雙頻外差測量技術， 性能指標中有雙頻頻差參數（ 一般為1 - 2 0 M H z），單頻干涉儀使用單頻測量技術， 性能指標中沒有頻差參數。