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純凈的SF6氣體一般是無毒的。SF6在生產(chǎn)過程中會有少量伴隨的生成物，其中S2F10是的劇毒氣體，但經(jīng)過凈化處理可以將它除凈。純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現(xiàn)使人窒息的危險(xiǎn)，設(shè)計(jì)戶內(nèi)通風(fēng)裝置時(shí)要考慮到這一情況。SF6氣體通過對流能與空氣混合，但速度很慢。氣體一旦混合后就形成SF6和空氣的混合氣體，不會再次分離。問題嚴(yán)重的是，電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強(qiáng)烈的腐蝕性和毒性。

1、SF4(四氟化硫)

常溫下SF4為無色的氣體，有類似SO2的刺鼻氣味，在空氣中能與水分生成煙霧，產(chǎn)生SOF2和HF。SF4氣體可用堿液或活性氧化鋁(Al2O3)吸收。SF4氣體對肺有侵害作用，影響呼吸系統(tǒng)，其毒性與光氣相當(dāng)。

2、S2F2(氟化硫)

常溫下為無色氣體，有毒，有刺鼻氣味，遇水分能水解形成S，SO2和HF。S2F2對呼吸系統(tǒng)有類似光氣的破壞作用。

3、SF2(二氟化硫)

SF2的化學(xué)性能極不穩(wěn)定，受熱后性能更加活潑，易水解成S，SO2和HF 。SF2氣體可用堿液或活性氧化鋁吸收。

4、SOF2(氟化亞硫酰)

SOF2為無色氣體，有臭雞蛋味，化學(xué)性能穩(wěn)定。它與水分反應(yīng)緩促，并能快速地為活性氧化鋁或活性炭吸附。SOF2為劇毒氣體．可造成嚴(yán)重的肺水腫，使動物窒息死亡。

5、SO2F2 (二氟化硫酰)

SO2F2為無色無臭氣體，化學(xué)性能極為穩(wěn)定，加熱到150 °C時(shí)也不會與水和金屬反應(yīng)。SO2F2不易被活性氧化鋁吸收。SO2F2是一種能導(dǎo)致痙攣的有毒氣體。它的危險(xiǎn)性在于無刺鼻性嗅味且不會對服鼻粘膜造成刺激作用，故發(fā)現(xiàn)中毒后往往會迅速死亡。

6、SOF4(四氟亞硫酰)

SOF4為無色氣體，有刺鼻性氣味，能被堿液吸收，與水反應(yīng)會生成SO2F2。SOF4是有害氣體，對肺部有侵害作用。

7、HF(氫氟酸)

HF是酸中腐蝕性的物質(zhì)。對皮膚、粘膜有強(qiáng)烈刺激作用，并可引起肺水腫和肺炎等。