H61.XYZTR1六軸壓電偏擺臺
H61.XYZTR0壓電偏擺臺可產生六軸的超精密運動用于靜態六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉,中心50mmx50mm的通孔,適于透射光應用。
特點
·六軸運動
·高承載能力
·正向靜態使用
·可選配閉環傳感器
典型應用
·六軸超精密位置調整
·棱鏡位置調整
·光學應用
·透射光應用
H61.XYZTR1六軸壓電偏擺臺
哈爾濱芯明天科技有限公司
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H61.XYZTR1六軸壓電偏擺臺,是θx, θy, θz, X, Y, Z六軸運動工作臺,通過六支壓電促動器的協調伸縮實現空間內六個自由度的運動,臺體結構緊湊,三種規格型號可供選擇,閉環型號定位精度高,是六自由度微操作、微電子精密加工等應用。
H61.XYZTR1六軸壓電偏擺臺
H61.XYZTR0壓電偏擺臺可產生六軸的超精密運動用于靜態六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉,中心50mmx50mm的通孔,適于透射光應用。
特點
·六軸運動
·高承載能力
·正向靜態使用
·可選配閉環傳感器
典型應用
·六軸超精密位置調整
·棱鏡位置調整
·光學應用
·透射光應用
H61.XYZTR1六軸壓電偏擺臺
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