超純水起初是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、RO膜技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質，菌、病當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。
超純水系統
超純水系統是指系統從原水至超純水完整產生的生產系統。 一般超純水系統是經由多重過濾，離子交換，除氣，紫外線，超濾，離子吸附過濾所產生的超純水。
工藝流程
1: 預處理-RO膜-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點
2: 預處理-前級RO膜-二級RO膜(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
3: 預處理-RO膜-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
4: 預處理→紫外線裝置→前級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
超純水系統RO膜(膜分離)法超純水制造技術
RO膜是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過RO膜(一種半透膜)而分離出來，RO膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。
RO膜系統優點
①不需加熱、沒有相變;
②能耗少;過程連續穩定;
③設備體積小、操作簡單，適應性強;
④對環境不產生污染。
RO膜超純水系統根據不同的源水水質采用不同的工藝。一般自來水經前級RO膜系統處理后，產水電導率<10-20μS/cm，經二級RO膜系統后產水電導率<5μS/cm甚至更低，在RO膜系統后輔以離子交換設備或EDI設備可以制備超純水，使電阻率高達18兆歐姆.厘米)。 RO膜老化或受污染后，產水質量會下降。
超純水質量
導電率：0.055 μS/cm
TOC： 3－10 ppb
基礎應用型
工藝流程
1、預處理系統→RO系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線裝置→拋光混床→過濾器→用水對象 （≥18MΩ.CM）(傳統工藝)
2、預處理→RO系統→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線裝置→拋光混床→0.2或0.5μm過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）(新工藝)
3、預處理→前級RO系統→加藥機（PH調節）→中間水箱→二級RO系統（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線裝置→0.2或0.5μm過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）(新工藝)
4、預處理→RO系統→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線裝置→0.2或0.5μm過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）(新工藝)
5、預處理系統→RO系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線裝置→過濾器→用水對象 （≥15MΩ.CM）(傳統工藝)以上工藝各有各的優勢，你可以根據你自身的情況選購適合你的工藝。隨著科學的發展，很多新的工藝已經替代了舊的
應用領域
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用純水。
單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝用純水。
食品工業用水:飲用純凈水、礦泉水、資料、啤酒等。
海水、苦咸水：海島、艦船、高鹽堿地區生活用水
樓宇、社區供水:賓館、機場、房產物業純水網絡系統等
化工行業工藝用水：化工用水、化肥、化學藥劑制造
工業產品制造用水：汽車、家電涂裝、涂料、油漆、精細加工清洗等
電力行業鍋爐補給水:熱力、火力發電鍋爐、中、低壓鍋爐動力系統 精細化工、精尖學科用水
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