直驅機構式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺，一體式結構設計原理，壓電陶瓷直驅機構，可實現8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應用。
直驅機構式壓電掃描臺特性
• 二維XY向運動，zui大行程8μm/軸 • zui大承載3kg
• 臺體中心方形通孔，尺寸為Ø62mm • 內置高性能壓電陶瓷
• 開環、閉環可選
外觀形狀 | 產品運動示意圖 | 臺體采用直驅式結構設計，出力大 |
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一體式超薄結構、高分辨率、閉環精度高 | 頻率負載曲線 | 壓電陶瓷嵌套式一體結構 | |
N63壓電掃描臺為XY二維平移掃描臺，平臺采用柔性鉸鏈導向壓電陶瓷直驅的機構設計，具有無間隙、無后坐力、無摩擦等特點，使其具有超高的分辨率達0.2nm。 可選擇內置高性能傳感器實現8×8μm范圍內超高的定位精度。 N63壓電掃描臺由于具有超薄的結構，臺體僅為17mm，中心通孔非常便于與顯微鏡配套安裝。 |
| N63壓電掃描臺采用壓電陶瓷直驅機構設計原理，嵌套式機構使其具有非常良好的動態性能。
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平穩和精確的掃描圓形驅動 |
精準圓形驅動控制，可以通過精切定位XY平臺的每一軸，采用正弦波90°相差輸入，也可以通過PID修正位移進行調整，根據頻率幅值以及負載使得驅動控制平穩精確。 |
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應用
• 圖像處理與穩定 • 精密定位 •光學捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計量 • 半導體測試 • 表面檢測 • 光學計量 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術 • 表面結構分析
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