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哈爾濱芯明天科技有限公司
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芯明天放大機構式壓電掃描臺

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號:P17
  • 品牌:
  • 產品類別:其他
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2025-04-23 14:07:53
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哈爾濱芯明天科技有限公司

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產品簡介

芯明天放大機構式壓電掃描臺 P17壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可 靠性壓電陶瓷,可以實現XY軸210μm的掃描范圍,通光孔為6060mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

詳情介紹

芯明天放大機構式壓電掃描臺P17壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可 靠性壓電陶瓷,可以實現XY軸210μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

芯明天放大機構式壓電掃描臺P17壓電掃描臺特性

•位移210μm

• 承載1kg

• 通孔尺寸:60×60mm

• 閉環重復定位精度高 • 響應速度快

XY二維掃描臺

P17二維壓電掃描臺中心大通孔,滿行程位移210μm。

大通孔、大行程、穩定性好、響應速度快

P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動快速、高精度 掃描臺,可以實現XY軸210×210μm的位移行程,優異 的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、響應時間可達5毫秒。

閉環版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01系列 閉環控制器配套使用,具有非常高的穩定性。臺體中心 60×60mm大通孔,適合工業自動化中的晶圓定位或微 操作等應用。

P17壓電掃描臺典型應用

• 圖像處理與穩定
• 掃描顯微
• 干涉/計量 • 表面檢測
• 晶圓定位 • 微操作

應用實例
P17系列壓電掃描臺適用于需要大行 經成功應用于半導體測試、表面結構分析 天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級精密定位。

P17壓電掃描臺技術參數:

型號

尾綴S-閉環 尾綴K-開環

P17.XY200S P17.XY200K

單位

運動自由度

X、Y

標稱行程范圍(0~120V)

150/軸

μm±20%

行程范圍(-20~150V)

210/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

通孔尺寸

60×60

mm

閉/開環分辨率

8/5

nm

閉環線性度

0.1/-

%F.S.

閉環重復定位精度

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<15

µrad

推/拉力

40/15

N

運動方向剛度

X0.2/Y0.2

N/μm±20%

空載諧振頻率

X240/Y400

Hz±20%

閉/開環空載階躍時間

30/5

ms±20%

閉環空載 工作頻率

10%行程

50

Hz±20%

99%行程

10

承載

1

kg

靜電容量

3.6/軸

μF±20%

材質

鋼、鋁

重量

660

g±5%

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

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