芯明天放大機構式壓電掃描臺 P16壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺，機構放大設計原理，中心通孔孔徑為20mm，該系列掃描臺有50μm與100μm兩種規格行程 可選，開環閉環可選。方形移動臺面，便于與外部機械結構安裝連接。
P16壓電掃描臺特性
•位移100μm
• 承載1.5kg
• 通孔尺寸：Ø20mm
• 閉環重復定位精度高 • 開環閉環可選
剛度大、諧振頻率高、負載能力大
P16系列壓電掃描臺，采用機構放大設計原理，內置高性 能壓電陶瓷，兩個規格型號掃描臺分別可實現50μm與100μm 的運動行程，一體式結構設計XY軸運動無耦合，優異的結構 可以承載1.5kg的負載，空載諧振頻率達400Hz。
P16.XY100版本為中心對稱運動方式，需配套帶有一通道 恒壓的三通道壓電控制器。
P16二維壓電掃描臺中心通孔尺寸Ø20mm，該系列壓電 掃描臺以其小體積、大負載、高動態等特性廣泛應用于顯微成 像等領域。
芯明天放大機構式壓電掃描臺P16壓電掃描臺典型應用
• 顯微成像 • 表面檢測
• 干涉/計量 • 精密定位
• 光學 • 微操作
應用實例
P16.XY二維壓電掃描臺以其大承載、高頻率等特點，應用于光 路調整實驗中，帶載大鏡架做XY軸精密運動。
P16壓電掃描臺技術參數：
型號 |
尾綴S-閉環 尾綴K-開環 |
P16.XY50S P16.XY50K |
P16.XY100S P16.XY100K |
單位 |
運動自由度 | X、Y | X、Y |
| |
標稱行程范圍（0~120V） | 40/軸 | 80或±40/軸 | μm±20% | |
行程范圍（-20~150V） | 55/軸 | 100或±50/軸 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS/- | SGS/- |
| |
通孔尺寸 | Ø20 | Ø20 | mm | |
閉/開環分辨率 | 10/5 | 10/5 | nm | |
閉環線性度 | 0.4/- | 0.4/- | %F.S. | |
閉環重復定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 | <20 | <25 | µrad | |
推/拉力 | 30/10 | 30/30 | N | |
運動方向剛度 | X0.5/Y0.5 | X0.5/Y0.5 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | X200/Y200 | X400/Y400 | Hz±20% | |
閉/開環空載階躍時間 | 10/0.8 | 10/1.6 | ms±20% | |
閉環空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | 100 |
Hz±20% |
99%行程 | 20 | 40 | ||
承載 | 1.5 | 1.5 | kg | |
靜電容量 | 1.8/軸 | 3.6/軸 | μF±20% | |
材質 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 |
| |
重量 | 200 | 220 | g±5% | |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
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