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芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)X、XY、XYZ370μm 的高速掃描，通光孔徑為Ø35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。

芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺P-18壓電掃描臺特性

• 位移370μm

• 承載3.5kg

• 通孔直徑：Ø35mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快

1~3維掃描臺

P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式，可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。

大位移、大承載、高剛度、高頻響

P18系列壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，可以 實現(xiàn)370μm的掃描范圍，運動直線性好，可選擇閉環(huán)版 本獲得優(yōu)異的線性度與重復(fù)定位精度。

P18采用的結(jié)構(gòu)設(shè)計，具有大剛度、大出力、大承 載等特點，承載達3.5kg，空載諧振頻率達600Hz，配 套芯明天大功率控制器響應(yīng)時間可達5ms，是精密加 工、半導體制造、掃描顯微等應(yīng)用。

P-18壓電掃描臺典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定 • 掃描顯微

• 干涉/計量 • 表面檢測

• 半導體測量 • 光學計量

應(yīng)用實例-納米光刻

在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點應(yīng)用于納米光刻實驗。

P-18壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)：