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ES612A ESD測試儀(HBM，HMM，MM)

1.描述

ES612A型ESD測試儀是一款2針測試儀，設計用于評估晶圓級和封裝級器件。測試儀的設計支持HBM、HMM和MM ESD標準。使用一種外部DC特性測量功能，可以輕松確定ESD故障閾值。該設備可以通過我們的自動多針設備測試儀進行擴展，并作為您的設備認證過程的一部分。

脈沖源設計和脈沖源傳輸方法直接確保被測器件的波形性能。可以自動捕獲和分析每個ESD事件的電流波形。此外，電壓波形可以被捕獲并用于確定保護電路的開啟水平。它們也可用作故障確定的手段，因為DC特性在ESD事件后會發生變化。

ES612A ESD測試儀(HBM，HMM，MM)

2. 特征

具有高質量脈沖的低寄生HBM/HMM/MM 2針測試儀
非常可配置和可擴展
對探針站友好
自動外部模塊檢測
大型觸摸屏和固件可升級
可選軟件控制的自動脈沖和故障測量
可選脈沖IV和DC IV表征

3. 應用程序

針對晶圓、封裝、PCB和系統器件的通用器件級ESD測試
HBM模塊符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001、MIL-STD-883、AEC-Q-101-001和MIL-STD-750標準
HMM模塊符合ANSI/ESD SP5.6，50歐姆方法
MM模塊符合ANSI/ESD STM5.2標準

4. 規范

ES612A控制器選項

因素	ES612A-2K	ES612A-4K	ES612A-6K	ES612A-8K	ES612A-12K	ES612A-20K	ES612A-30K	單位
輸出電壓	10 ~ 2k	10 ~ 4k	10 ~ 6k	10 ~8k	10 ~ 12k	10 ~ 20k	10 ~ 30k	V
輸出電壓階躍	1V至500V，10V至最大電壓
輸出電壓精度	優于1 % 5 V
規模	347 X 300 X 145							毫米
重量	5	6	6	6	6	7	8	公斤
電壓和電流測量	無源電壓和電流探頭
支持的示波器	大多數型號來自是德科技、泰克、萊克羅伊。
支持SMU	是德科技2900系列，吉時利24xx/26xx系列SMU。

HBM外部人體模型模塊

(根據美國國家標準協會/ESDA/JEDEC JS-001)

因素	HBM-2K	HBM-4K	HBM-6K	HBM-8K	HBM-12K	HBM-20K	HBM-30K	單位
輸出電壓	10 ~ 2k	10 ~ 4k	10 ~ 6k	10 ~8k	10 ~ 12k	10 ~ 20k	10 ~ 30k	V
放電RC值	c:100 pF±10%，R:1.5kω±1%
短負載峰值電流Ips	每千伏0.67安±10%							A
短負載上升時間Trs	2 < Trs < 10							納秒
短負載衰減時間Tds	130 < Tds < 170							納秒
短負載振鈴Irs	< 15% of Ips
500 ? 負載峰值電流Ipr	知識產權/知識產權≥ 63%
500 ? 負載上升時間Trr	5 < Trr < 25							納秒

HMM外部人體金屬模型模塊
(根據ANSI/ESD SP5.6)

因素	嗯-12K	嗯-24K	嗯-36K	單位	評論
HMM第一個峰值電流	45	90	135	A	每1千伏3.75安≤ 10 % C 61000-4-2(R = 330ω，C=150pF)
HMM電流(30 ns)	24	48	72	A	≤ 10 %(優于30% IEC)
HMM電流(60 ns)	12	24	36	A	≤ 10 %(優于30% IEC)

abbr. 毫米（millimeter）外部機器模型模塊

(根據ANSI/ESD STM5.2)

因素	毫米-2	MM-4	單位	評論
輸出電壓	10 ~ 2000	10 ~ 4000	V
放電RC值	C: 200 pF，R:0ω
短的負荷峰值電流 I 第一親代	每100伏1.75±10%		A	高于3kV的波形將不再呈現線性增加。容差可以如果使用插座，則有所不同
短的負載I p2	67% ~ 90%的I 第一親代		A
短負載脈沖周期t 下午	66 < t 下午 < 90		納秒
500 ω負載峰值電流I 公共關系	0.85 – 1.2		A	標準400伏條件下
500 ω負載I 100	0.23 – 0.4		A	標準400伏條件下
500 ω負載I 200	測量值的30 -50% 100		A

ES612-SIVI測試儀集成靜態IV模塊

因素	ES612-SIVI	單位	評論
源電壓	0 ~ 40	V
最小步長	0.1	V
準確(性)	1% 50mV		寬容也許不同
最大源電流	100	媽
測量電流精度	1% 40nA

5.訂購須知

線條	零件號或選件號	描述
靜電放電測試儀
1.1	ES612A-2K	ES612 ESD測試儀，最大2kV，支持USB
	ES612A-4K	ES612 ESD測試儀，最大4kV，支持USB
	ES612A-6K	ES612 ESD測試儀，最大6kV，支持USB
	ES612A-8K	ES612 ESD測試儀，最大8kV，支持USB
	ES612A-12K	ES612 ESD測試儀，最大12kV，支持USB
	ES612-20K	ES612 ESD測試儀，最大20kV，支持USB
	ES612-30K	ES612 ESD測試儀，最大30kV，支持USB
1.2	ES612A-HBM-2	人體模型2針模塊，2kV
	ES612A-HBM-4	人體模型2針模塊，4kV
	ES612A-HBM-6	人體模型2針模塊，6kV
	ES612A-HBM-8	人體模型2針模塊，8kV
	ES612A-HBM-12	人體模型2針模塊，12kV
	ES612A-HBM-20	人體模型2針模塊，20kV
	ES612A-HBM-30	人體模型2針模塊，30kV
1.3	ES612A-HMM-12	人體金屬模型2針模塊，12kV等效HMM
	ES612A-HMM-24	人體金屬模型2針模塊，24kV等效HMM
	ES612A-HMM-36	人體金屬模型2針模塊，36kV等效HMM
1.4	ES612A-MM-2	機器型號2引腳測試儀模塊，2kV
	ES612A-MM-4	機器型號2引腳測試儀模塊，4kV
1.5	ES612-SIVI	測試儀集成靜態IV模塊(允許在沒有SMU或PC的情況下進行DUT故障檢查)
配件
2.1	CT-T03-1p0	電流探頭2kHz至2 GHz，1 V/A(優于Tektronix CT1和CT2)
2.2	HBM-BA1	HBM板級測試附件套件，包括電纜、適配器、校準套件和電流探頭
2.3	MM-BA1	MM板級測試附件套件，包括電纜、適配器、校準套件和電流探頭
2.4	ES612A-HBM-WA1	ES612A HBM或MM晶圓級測試附件套件，包括探針臂、探針和微定位器
2.5	ES612A-HMM-WA1	ES612A HMM晶圓級測試附件套件，包括探針臂、探針和微定位器
2.6	CMPS-200A	緊湊型手動探針站
2.7	HBM-TC0.3	用于封裝IC探針的0.3 mm間距測試夾
2.8	XYZM-PP048	用于封裝級測試的0.48毫米Pogopin(每包20個)
2.9	XYZM-TN1	鎢針–5密耳尖，用于晶圓級測試(每包10個)
第三方
3.1	KSMU2450	SMU，200V，1A，20W，單通道(用于設備DC自動化故障檢查))
3.2	MISC-OSC-1G	1 GHz帶寬、5Gs/S、4通道示波器
3.3	雜項OSC-200米	200 MHz帶寬、2Gs/S、4通道示波器
3.4	雜項OSC-350M	350 MHz帶寬、2Gs/S、4通道示波器
自動化解決方案
4.1	HBM-RE64X2	用于HBM自動化的64針繼電器擴展模塊
4.2	HBM-RE128X2	用于HBM自動化的128針繼電器擴展模塊
4.3	HBM-RE256X2	用于HBM自動化的256針繼電器擴展模塊(已過時)
4.4	ES62X-PC-SW1	PC包括用于2針、脈沖和SMU的自動化軟件
4.5	ES62X-PC-SW2	PC包括用于2針、脈沖、OSC和SMU的自動化軟件
4.6	ES62X-PC-SW3	PC包括用于擴展模塊1脈沖對1 GND引腳測試、脈沖、OSC和SMU的自動化軟件
4.7	ES62X-PC-SW4	PC包括用于擴展模塊1脈沖到多GND引腳測試、脈沖、OSC和SMU的自動化軟件
4.8	ES650-150	全自動化2引腳低寄生機器人自動機解決方案 (不限引腳，不需要PCB、PC和全自動軟件) ES612A ESD測試儀(HBM，HMM，MM)